真空度測試儀測試原理和檢測方法
更新時間：2011-08-30 點擊次數(shù)：2012次
真空度測試儀試原理將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距，施加脈沖高壓，將電磁線圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場，這樣在脈沖磁場的作用下，滅弧室中的電子做螺旋運動，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對于不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同，當(dāng)測知離子電流后，通過離子電流一真空度曲線，由計算機自動完成真空度的計算，并顯示真空度值。
真空度測試儀傳統(tǒng)的檢測方法是“耐壓法”，即真空開關(guān)處于開斷狀態(tài)下，在動靜觸頭之間施加一定的電壓，檢測其泄漏電流的大小，由此推斷真空管的好壞。這種方法的優(yōu)點是：操作簡單；缺點是：只能定性地檢測真空管的好壞；而且真空度在10-4～10-1Pa之間無法準(zhǔn)確分辨，所以無法判斷泄漏的發(fā)展趨勢（即同一個真空開關(guān)和上次相比有多大程度的泄漏）。
